第三代半導體材料量產難題破解！百惠浦超純水設備助力
隨著5G基站、新能源汽車爆發(fā)式增長，氮化鎵（GaN）、碳化硅（SiC）等第三代半導體材料需求激增。然而，其生產對超純水的金屬離子、TOC等指標要求比硅基芯片嚴苛10倍以上。如何突破水質瓶頸？百惠浦半導體超純水設備通過創(chuàng)新技術給出答案。
一、第三代半導體對超純水的極致要求
- 金屬離子≤0.01ppt：Na?、K?等殘留會導致GaN外延層缺陷；
- TOC≤0.5ppb：有機物污染將引發(fā)SiC晶圓表面微管；
- PH值精準控制：碳化硅蝕刻廢水需耐受強酸強堿環(huán)境。
二、百惠浦設備技術方案與優(yōu)勢
1. 雙級拋光混床+靶向吸附樹脂
采用納米級離子交換樹脂選擇性吸附金屬離子，實測Na?濃度低至0.007ppt，突破行業(yè)極限。
2. 抗酸蝕RO膜技術
膜表面鍍覆碳化硅涂層，可在pH=2~12環(huán)境下穩(wěn)定運行，延長膜壽命至5年以上。
3. 在線SPE-TOC聯(lián)用檢測系統(tǒng)
通過固相萃取與總有機碳分析聯(lián)用，實時監(jiān)測超痕量有機物，確保外延生長“零污染”。
三、客戶案例：某功率器件大廠良率提升數(shù)據(jù)
某全球TOP3 SiC模塊廠商采用百惠浦設備后：
- 晶圓良率從82%提升至89%，年增產值超2億元；
- 設備停機率下降70%，耗材更換成本節(jié)省35%；
- 支持8英寸GaN產線擴產，流量擴展至20T/H無壓力。
四、國產超純水設備的未來布局
百惠浦環(huán)保，是研產銷一站式服務的廠家，擁有多家分工廠、分公司，服務多家國內外龍頭企業(yè)，已通過ISO9001體系認證，深耕水處理行業(yè)近20年，合作案例1000+，純水處理，就找百惠浦！純水設備系統(tǒng)解決方案全球提供商，根據(jù)客戶水質需求提供設計、設備、工程、服務一站式服務，企業(yè)水處理難題，百惠浦環(huán)保為你解決！
2025年03月27日
