半導(dǎo)體用去離子水設(shè)備的處理過(guò)程
半導(dǎo)體用去離子水設(shè)備的處理過(guò)程是一個(gè)精細(xì)且復(fù)雜的過(guò)程，主要目的是去除水中的離子和雜質(zhì)，以提供高純度的去離子水滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)的需求。以下是該設(shè)備處理過(guò)程的主要步驟：
1. 原水預(yù)處理：原水可以是自來(lái)水或其他水源。首先，通過(guò)預(yù)處理系統(tǒng)去除水中的大顆粒雜質(zhì)、懸浮物、有機(jī)物和微生物等。這通常包括使用石英砂過(guò)濾器、活性炭過(guò)濾器等設(shè)備。
2. 反滲透（RO）系統(tǒng)：反滲透是去離子水設(shè)備中的核心部分。在高壓下，水分子通過(guò)半透膜，而大部分溶解的離子、有機(jī)物、微生物等則被截留在膜的一側(cè)。這樣，就得到了較為純凈的水。
3. 離子交換（IX）系統(tǒng)：經(jīng)過(guò)反滲透處理后的水再通過(guò)離子交換系統(tǒng)。這里主要使用陽(yáng)離子交換樹脂和陰離子交換樹脂。陽(yáng)離子交換樹脂能夠吸附水中的陽(yáng)離子（如鈉離子、鈣離子等），同時(shí)釋放出氫離子；陰離子交換樹脂則吸附水中的陰離子（如氯離子、硫酸根離子等），同時(shí)釋放出氫氧根離子。這樣，水中的離子就被大量去除。
4. 電去離子（EDI）系統(tǒng)：在離子交換系統(tǒng)之后，通常還會(huì)使用電去離子（EDI）系統(tǒng)。EDI是一種結(jié)合了離子交換和電滲析技術(shù)的工藝，能夠在電場(chǎng)的作用下，通過(guò)離子交換膜將水中的離子去除，同時(shí)產(chǎn)生高純度的去離子水。
5. 終端處理：在EDI系統(tǒng)之后，可能還會(huì)進(jìn)行一些終端處理，如紫外線殺菌、超濾等，以確保去離子水的純度和安全性。
6. 水質(zhì)監(jiān)測(cè)：在整個(gè)處理過(guò)程中，需要對(duì)水質(zhì)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，以確保去離子水的質(zhì)量符合半導(dǎo)體生產(chǎn)的要求。這通常包括電阻率、pH值、微生物含量等指標(biāo)。
通過(guò)以上步驟，半導(dǎo)體用去離子水設(shè)備能夠去除水中的離子和雜質(zhì)，提供高純度的去離子水，滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)對(duì)水質(zhì)的高要求。
2024年05月10日
